Техниката на вакуумно магнетронно разпрашване е използването на женска, биполярна повърхност на електрода с магнитното поле на електрона в дрейфа на повърхността на катода, чрез задаване на електрическото поле на целевата повърхност перпендикулярно на магнитното поле, електронът увеличава хода, увеличава скоростта на йонизация на газа, докато високоенергийните частици газират и губят енергия след сблъсъка и така понижават температурата на субстрата, пълно покритие върху материал, който не е устойчив на температура.