Линия за магнетронно разпръскване с алуминиево огледало
Кратко описание:
Линията за вградено магнетронно разпръскване на алуминиево огледало е предназначена за висока производителност при производството на стъклени огледала.За да покрием по-голямо стъкло и да се погрижим за крехкия стъклен панел, особено за листовете с голям размер, обикновено правим хоризонтален тип линия за разпръскване.Това е непрекъсната магнетронна линия за нанасяне на покритие, с предна и задна груба помпена камера и след преходната камера, преди и след фината помпена камера, буферна камера, стая за цветно покритие.
Целеви дизайн: цилиндрични катоди за магнетронно разпръскване или/и планарни катоди.
Източник на захранване: захранване с високомощно DC или MF магнетронно разпръскване
Задвижваща система: ролково задвижване, регулируема честота, индукционна система за отваряне на стайни врати.
Линията за вградено магнетронно разпръскване на алуминиево огледало обикновено се доставя с множество вакуумни камери за завършване на вакуумното покритие върху стъклени листове.
Основните функции:
1.Максимален размер на стъкленото покритие: 2440x3660mm или персонализиран
2. Налични са многовакуумни камери и дизайн на камера с множество разпрашвания
3. Хоризонталната магнитна контролна линия има структура с един и два края;двойно почистване на стъкло, покритие, откриване, боядисване, сушене, охлаждане могат да бъдат завършени наведнъж
4. Линията за нанасяне на покритие използва PLC за управление на целия процес и е оборудвана с цветен екран за показване на данните за процеса на нанасяне на покритие
Слой покрития: титан, хром, неръждаема стомана, алуминий, сребро, мед и др.
Съединение: TiN, TiO2 и др.
Дебелина на слоя: 5-100nm
Пропускане: 8-40% при 380-780 nm дължини на вълната
Температура на отлагане: стайна температура
Крайно налягане след 8 часа изпомпване:
Входна шлюзова камера и вакуумна шлюзова камера: 5×10-1 Pa или по-малко
Буферна камера 1: 3×10-3 Pa или по-малко
Камера за разпръскване: 2 × 10-3 Pa или по-малко
Буферна камера 2: 3×10-3 Pa или по-малко
Изходна шлюзова камера и вакуумна шлюзова камера: 5×10-1 Pa или по-малко