Вградената машина за магнетронно разпрашващо покритие е основно DC (или MF) магнетронно разпрашващо покритие, което може да бъде адаптирано към широк спектър от цели, като например: мед, титан, хром, неръждаема стомана, никел и други метални материали, които могат да бъдат покрити с помощта на процес на разпрашаване може да подобри адхезията на филма, възпроизводимостта, плътността, еднородността и други характеристики.
- а.Основните характеристики и параметри
- b.структурата на хоризонтална линия може да бъде реализирана едновременно с покритие от едната страна
- ° С.производствена ефективност, най-бързите скорости до 1 мин./такт
- д.модулен дизайн, лесна поддръжка
- д.зрялост на процеса на покритие, висок добив
- f.Катодите за магнетронно разпрашаване с постоянен ток може да варират в зависимост от изискванията на клиента
- ж.вакуумната система се състои от механична помпа, помпи на Roots, дифузионни помпи (молекулярна помпа) Състав
- ч.Размерът на тялото на линията може да варира в зависимост от изискванията на клиента